
پروڈکٹ کا نام: زرکونیم سپٹرنگ ٹارگٹ
میٹریل گریڈ: Zr702 (ASTM B493 گریڈ R60702)
پیوریٹی گریڈ: 99.95% (3N5) دھات-کی بنیاد پر (Hf-مفت)
بنیادی ایپلی کیشنز: ایڈوانسڈ سیمی کنڈکٹر پیکیجنگ، آپٹیکل کوٹنگ، سولر سیل بیک الیکٹروڈ، مائیکرو الیکٹرانک انٹرکنیکٹ لیئر (PVD عمل)
مینوفیکچرنگ کے معیارات: ASTM B493/B493M-14 (زرکونیم اور زرکونیم الائے فورجنگز کے لیے تصریح) اور SEMI M13-1102 (فضائی اہداف کے لیے عمومی تفصیلات) کے مطابق
زرکونیم سپٹرنگ ٹارگٹ کی نظریاتی کثافت 6.51 g/cm³ ہے، اس کی کثافت 99.0% سے زیادہ یا اس کے مساوی ہے، اس کی تھرمل چالکتا 22.6 W/m·K ہے، اور اس کی تھرمل توسیع کا گتانک (20–300 ڈگری) 10.5.5 × 5.5 ہے۔ یہ پیرامیٹرز معیاری اینیلڈ حالت میں اعلی-طہارت Zr702 اہداف کے لیے ماپا گئے اقدار ہیں، جو ہائی{10}}پاور DC/RF میگنیٹران سپٹرنگ ایپلی کیشنز کے لیے موزوں ہیں، اور 99.9% پاکیزگی والے مواد سے زیادہ تھرمل استحکام کو ظاہر کرتے ہیں۔
مصنوعات کی سطح کے معیار اور مائیکرو سٹرکچر کے تقاضے:
اناج کا سائز: 50 μm (اوسط) سے کم یا اس کے برابر، جس کی پیمائش EBSD (الیکٹران بیکسکیٹر ڈفریکشن) سے ہوتی ہے، اناج کے سائز کی تقسیم کے معیاری انحراف کے ساتھ 15 μm سے کم یا اس کے برابر۔
سطح کی کھردری (Ra): 0.8 μm سے کم یا اس کے برابر، 3D آپٹیکل پروفائلومیٹر (ISO 4287) کا استعمال کرتے ہوئے ماپا جاتا ہے، خروںچ، انڈینٹیشنز اور گڑھوں سے پاک۔
Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 mm² مسترد کر دیا گیا ہے۔
مائیکرو اسٹرکچر: یکساں مساوی -فیز ڈھانچہ۔ SEM (500× میگنیفیکیشن)، سوراخوں، شمولیتوں اور علیحدگی سے پاک۔
تمام اہداف کو ہاٹ آئسوسٹیٹک پریسنگ (HIP) کے ذریعے کثافت کیا جاتا ہے تاکہ 180 MPa سے زیادہ یا اس کے برابر اناج کی باؤنڈری بانڈنگ کی مضبوطی کو یقینی بنایا جا سکے، جو 500 گھنٹے سے زیادہ یا اس کے برابر ہونے کے بعد کسی ڈیلامینیشن کی ناکامی کی ضرورت کو پورا کرتا ہے۔

زرکونیم سپٹرنگ ٹارگٹ (GHS اور IEC کے مطابق) کے لیے پیکجنگ اور شپنگ کی تفصیلات:
اندرونی پیکیجنگ: ویکیوم سیل (1×10⁻³ mbar سے کم یا اس کے برابر) + اعلی-پاکیزگی والے آرگن (99.999%) سے بھرا ہوا، ASTM F2095 کے مطابق۔
بیرونی پیکیجنگ: ڈبل-پرتوں والی نمی-ثبوت ایلومینیم فوائل بیگ + EPE کشننگ فوم + لکڑی کا کریٹ (ISPM-15 کے مطابق)، IEC 60068-2-78۔
نمی سے تحفظ کا لیبل: نمی-پروف + نمی انڈیکیٹر کارڈ (5% RH سے کم یا اس کے برابر)، IEC 60068-2-30 کے مطابق۔
MSDS/SDS: GHS 7ویں نظرثانی کے مطابق، 16 معیاری حصوں پر مشتمل، بشمول Zr دھول کے دھماکے کے خطرات (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200۔ شپنگ لیبل: UN 1399 (غیر-جولنشیل ٹھوس دھات) + corrosive مادہ۔
ہر باکس میں ایک desiccant پیکٹ (سلیکا جیل) اور نمی ریکارڈر شامل ہے۔ نقل و حمل کے دوران درجہ حرارت کا کنٹرول: 5–30 ڈگری، رشتہ دار نمی 40٪ سے کم یا اس کے برابر۔
ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: زرکونیم سپٹرنگ ٹارگٹ، چین زرکونیم سپٹرنگ ٹارگٹ مینوفیکچررز، سپلائرز، فیکٹری




